发布时间:2021-04-14 浏览次数:2206
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设备简介: 化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法,是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术,包括大范围的绝缘材料,以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统,适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域;
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技术参数:
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1.炉体与控制系统集成一体化,使试验方便快捷直观。 2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路,可以单独设置气体流量。 3.精确PID程序多段控制,实现不同工艺多段温度时间监控。 4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料,保温效果极佳。 5.配备机械泵或分子真空泵,可以实现不同的真空条件。 |
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产品型号 |
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NBD-T1700-80TIG3Z |
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工作温度 |
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≤1650℃ |
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加热区尺寸 |
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310mm |
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恒温区尺寸 |
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220mm | ||||||||
升温速率 |
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≤20℃/min |
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电气规格 |
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AC 220V 4.5KW |
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控制系统 |
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1、烧结工艺曲线设置:动态显示设置曲线,设备烧结可预存多条工艺曲线,每条工艺曲线可自由设置; |
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气体系统(可选购) |
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流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4(多路可选) |
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流量范围 |
20-200/60-600l/min(多量程可选) |
50/100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统(可选购) |
真空泵型号 |
NBD-1.5C |
NBD-3C |
NBD-4C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
4L/s |
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进排气口尺寸 |
Φ8mm宝塔接头 |
Φ8mm宝塔接头 |
KF16/25 |
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极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
10Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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分子泵高真空系统 (可选购) |
分子泵系统型号 |
NBD-103(A) |
NBD-103(B) |
NBD-103(C) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
700L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
10^-5Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC 220V |
AC 220V |
AC 380V |
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* 支持非标定做,更多型号,欢迎来电垂询400-000-3746 |
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