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SEM的特点-SEM测试主要测什么

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发表时间:2021-12-30 09:12作者:铄思百检测来源:铄思百检测

同其它方式的显微镜比较, SEM具有如下特点:

(1)能直接观察大尺寸试样的原始表面。其能够直接观察尺寸可大到直径为100mm,高50mm,或更大尺寸的试样,对试样的形状没有任何限制,粗糙表面铄思百检测也能观察。

(2)试样在铄思百检测样品室中可动的自由度非常大。其它方式显微镜的工作距离通常只有2~3mm,故实际上只允许试样在两度空间内运动。但在SEM由于工作距离大,焦深大,样品室的空间也大,这对观察不规则形状试样的各个区域细节带来无比的方便。

(3)观察试样的视场大。若采用30cm的显像管,放大倍数为10倍时,其视场范围可达30mm。

(4)焦深大,图像富立体感。SEM的焦深比TEM大10倍,比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大,故所得扫描电子像富有立体感。

(5)扫放大倍数的可变范围很宽,且不用经常对焦。SEM的放大倍数范围很宽,铄思百检测一次聚焦好后即可从低倍到高倍,或低倍到高倍连续观察,不用重新聚焦。

(6)在观察厚块试样中,它能得到的较高的分辨率和最真实形貌。对厚块试样进行观察,TEM镜中要采用复膜方法,而复膜的分辨率通常只能达10nm,且观察并不是试样本身。因此,用SEM观察厚块试样更有利,更能得到真实的试样表面资料。

(7)因电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。观察时所用的电子探针电流小.电子探针的束斑尺寸小,电子探针的能量也比较小,而且是以光栅状扫描方式照射试样,因此,由于电子照射而发生试样的损伤和污染程度很小。

(8)能进行动态观察。可以通过连接显示装置,观察相变、断裂等动态的变化过程。

(9)可以从试样表面形貌获得多方面资料。可以通过信号处理方法,获得多种图像的特殊显示方法,可以从试样的表面形貌获得多方面资料。

SEM除了观察表面形貌外,还能进行成分和元素的分析。采用三透镜式的SEM还可以通过电子通道花样进行结晶学分析。由于 扫描电镜具有上述特点和功能,所以颇受科研工作者的重视,用途日益广泛。

铄思百检测为您提供 扫描电镜测试服务。

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关键词: SEM 形貌 铄思百检测 表面形貌


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