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百衲本提供技术支持
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产品型号
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G5U-PH
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产品名称
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5mm正立式激光干涉仪
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测试口径
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Φ5mm
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辅助对准口径
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Φ30mm
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标准镜面形精度
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λ/20
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光源
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进口He-Ne激光器（632.8nm)
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光路切换
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辅助观察（Φ30mm大视场）与测试（Φ5mm小视场）模式电控切换
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电源
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AC220V50HZ
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标配配件
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气浮减震平台
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软件名称
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移相算法（简称PH）
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分析项目
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透过波前PV值、平行度Tilt值、ttv等
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测试重复性
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PV：0.01λ RMS:0.003λ
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测试允许误差
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PV<1λ时 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零场调整为1根条纹）
1λ<PV<2λ时 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零场调整为1根条纹）
2λ<PV<3λ时 PV：0.2λ Tilt：1fr（零场调整为1根条纹）
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测试时间
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1.5秒
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G10U-PH
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G5U-PH
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条纹数
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20fr
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40fr
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PV（背景零场测试值）
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1λ
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3λ
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