传统的激光干涉仪通常需要在被测目标上设置靶镜，以反射测量光线获得高精度的测量结果。镭测科技推出的LY1000型非接触式激光回馈干涉仪，无需靶镜，仅利用待测工件反射甚至是散射的微弱光线即可实现高精度测量，是真正意义上的非接触式测量。 除可用于传统激光干涉仪适用的测量目标外，还可适合于微、小、轻、薄、毒、易变形等不适合安装靶镜的目标测量，如液面高度、半导体晶圆位置、微机械位移、材料膨胀系数、振动等。
        
        以下是本产品独特的技术或特点：

1、高灵敏度，可实现对非配合目标的非接触式测量
2、准共路技术有效抑制仪器内部环境变化引起的漂移，仪器具有较小的零漂。
3、具有较高的分辨率和较大量程，测量结果可以溯源。

       LY1000激光回馈干涉仪的分辨率可达纳米量级，量程可达2m，如果加扩束镜，可达数米。它同干涉仪一样，测量结果可以溯源到光波长，从而无需标定。
产品由激光测头、信号处理电箱和软件组成。

（欲了解更多信息，请阅览本网站解决方案栏目中的： 非接触式激光干涉仪（激光回馈干涉仪）  ）

恳请注意：因市场发展和产品开发的需要，本产品资料中有关内容可能会根据实际情况随时更新或修改，恕不另行通知，不便之处敬请谅解。

圣路易斯华盛顿大学用于显微镜位移测量

 

回馈干涉仪用户手册2019.pdf

镭测激光精密测量产品手册-2024.3.pdf

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